6 軸配置システム 786015:009.26

多軸6脚横型

6軸小型XYZ-θ-Phi-δ位置決めシステム（クリーンルームISO 5） カスタマイズ可能 - 最大300 mm / 12 "までのウェハーおよび光学部品の自動検査に最適 - 2.5μmまたは±0.005°の高い繰り返し精度 - 520 x 600 x 155 mmの卓越した精度、剛性、コンパクト性 - クリーンルームクラスISO 5までの3シフト運転に対応した設計 6軸マニピュレーターは、水平軸にXYステージ、垂直軸に三脚と2つのチルトを備え、直交運動と平行運動の長所を1つのシステムで実現しています。 仕様 - 標準システムMT95（XY）／3xMT95（Z、Rx、Ry） - トラベル：30 mm (XY) / 20 mm (Z) / 4 mm (Rx, Ry) / n x 360 (Rz) - 繰り返し精度：± 1.5 - ± 3.5 µm (XYZ) / 0.0004 - 0.001 µm (Rx, Ry) / 0.05 - 0.1 µm (Rz) - 位置決め速度: 1.1 - 2 mm/s (XYZ) / 0.03 -0.5 mm/s (Rx, Ry) / 100 - 200 mm/s (Rz) - 最大荷重65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz) - モーターDCモーター、回転数1112、回転速度(X,Y,Rx,Ry)/回転速度(Rz) - フィードバックモーターエンコーダー - 長さ x 幅 x 高さ: 520 x 600 x 155 mm カスタマイズオプション - アプリケーションに特化したテスト済みで、すぐに使用可能なプラグアンドプレイモーションコントローラー（サンプルソフトウェア付き - 最大450 mm / 18 "までのサンプルに対応する特別バージョン - クリーンルームISO 14644-1に対応した各種バージョン（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - カスタマイズ/交換可能なプロセスヘッドを備えたモジュラー多軸システム - 多様なサンプルホルダー、ワークフローへの統合 - 位置決めタスクの3Dデザインによる個別ソリューション開発