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- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ LA80電動単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 産業用, 真空対応, 高速, ロングレース用, ウェハー運搬用
- ストローク
最少: 1 mm
(0.039 in)最大: 500 mm
(19.685 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最大: 100 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.3 µm
最大: 5 µm
- 積載量
最少: 0.9 kg
(1.98 lb)最大: 4.9 kg
(10.8 lb)
詳細
LA80
高速UHVリニア軸
用途：高速搬送ステージ
利点：乾式潤滑にもかかわらず高寿命
特徴：乾式潤滑ボールねじ駆動
- 真空度： HV / UHV / EUVの全レンジ、10E-11 mbarまで
- 磁気: 磁気
- 潤滑： 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbar まで
- 最高ベークアウト温度120°C
オプション
- 測定システム付きと測定システムなしのオプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- 高速XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能です。
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能）
- モーションコントローラ FMC400/450 オプション
技術データ
- トラベル: 200mm - 500mm
- 繰り返し精度
±3µm、±0.3µm（一方向）
± 4µm、±0.5µm（双方向）
- 荷重： → 49 N / ↑ 9 N
- 最大速度： 100 mm/s
- モーターステッピングモーター
- ベアリングステンレス鋼ハイブリッド循環ボールガイド
- フィードバックオープンループ、リニアスケール
- フィードバック分解能：±0.5 µm
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