- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ MT105圧電単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 産業用, 小型, 真空対応, ウェハー運搬用, クロスローラー
- ストローク
最大: 100 mm
(3.937 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最大: 100 mm/s
最少: 1 mm/s
- 繰返し精度
最大: 5 µm
最少: 0.2 µm
- 積載量
最大: 5.5 kg
(12.13 lb)最少: 0.4 kg
(0.88 lb)
詳細
MT105
用途：多目的マイクロステージ
利点：高分解能スキャン用
特徴：非常に高い分解能での位置決め
- 真空: 10E-11 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲
- 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで
- 磁性: 磁性/低磁性/マグネットフリー
- 最高ベークアウト温度120°C
オプション
- マグネット式、低マグネット式、マグネットフリー式があります。
- 高荷重のモーション用に最大2種類のモーターを使用可能
- XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能
- クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能）
- FMC400/450 コントローラー付きオプション
技術データ
- 移動量： 100 mm
- 繰返し精度： -
± 0.4 µm (一方向)
± 0.5 µm (双方向)
- 荷重： → 4 N / ↑ 55 N
- 最大速度： 100 mm/s
- モーターピエゾモーター
- ベアリング：クロスローラーベアリング
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能 0.005 µm - 1 µm
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