XYZ軸配置システム 3-Achs-Strahljustage

リニア圧電

3段階調節 UHV XYZシステム アプリケーション高解像度と高速スキャンアプリケーション 利点： - UHVで垂直方向にも高速位置決め 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10E-11mbar - 磁性： 磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑： 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能。 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - オプションでコントローラFMC400/450を装備可能 - モーションコントローラーFMC400/450とオプションで併用可能 技術データ - トラベル：5 mm、10 mm - 繰返し精度：- ± 0.2 µm（一方向） ± 0.3 µm (双方向) - 荷重： → 5 N / ↑ 8.8 N - 最大速度： 10 mm/s - モーターピエゾモーター - ベアリング: クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでフルセラミック - フィードバックリニアスケール - フィードバック分解能：0.1 µm、オプションで最大0.005 µm