回転ポジショニングステージ DT65
圧電単軸精密

回転ポジショニングステージ
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特徴

方向
回転
軸の数
単軸
その他の特徴
精密, 産業用, ダブテール, ウェハー運搬用
積載量

最大: 1 kg
(2.2 lb)

最少: 0.1 kg
(0.22 lb)

詳細

DT65 高ダイナミック回転ステージ シュタインマイヤー・メカトロニックの製品群の中で最小のステージは、高いダイナミクスとスピードを提供します。DT65はピエゾドライブを搭載し、非常に小さなステップサイズを可能にします。 モーションコントローラ FMC 400 DT65には、FMC 400シリーズのモーションコントローラが使用されています。オプションとして、中央開口部を備えた回転ステージをご用意しています。 過酷な環境に最適 真空および非磁性バージョンでは、DT65は厳しい環境でのアプリケーションに最適です。そのため、特に以下の用途に適しています。 技術データ: - 移動角度: nx360 deg - 一方向の繰り返し精度: ± 0.003 deg - 反復性二方向: ± 0.006 の deg - 精度: ±0.015 deg - 偏芯振れ:±8μm - 位置決め速度:360 deg/s - 最大加速度: 20000 deg/s2 - 最大負荷 Fz: 10 N - 最大負荷トルク Mz: 0.25 Nm, - 0.5 Nm - 最大負荷トルク Mx,y: 3.3 Nm

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。