リニアポジショニングステージ HT160

電動式単軸精密

HT160 高精度リフティングステージ リフティングステージHT160は、高精度の垂直移動に適しています。ギヤードモータと精密ボールねじの組み合わせにより、高荷重で非常に小さな調整増分が可能です。 PMTシリーズ、PLTシリーズと組み合わせ可能 ステッピングモータまたはDCモータとクロスローラベアリングを装備したHT160は、PMT160およびPLTシリーズに適合するように開発されており、困難な多軸システムに対する多様な組み合わせの可能性を保証します。 用途の多様性 このリフティングステージは、主に計測工学、センサーの位置決め、光学分野、微細加工で使用されます。また、研究開発用の真空バージョンもご用意しています。 技術データ - トラベル：16 mm - 一方向再現性：±1.6μm、±0.7μm - 双方向繰返し精度： ± 2.6µm、± 1.2µm - 精度：±7.1µm、±3µm - 位置決め速度：8.3 mm/s - 最大加速度 0.2 m/s2 - 最大荷重負荷 Fx: 50 N - 最大荷重最大荷重 Fy：50 N - 最大荷重最大荷重Fz: 45 N - 分解能 0.042μm、0.1μm