リニアポジショニングステージ MT130

電動単軸クロスローラー

MT130 モーター内蔵コンパクトリニアステージ ミニチュアリニアステージは、ローラーベアリングにより優れた真直度と平面度を提供します。駆動部は非常にコンパクトな位置決めシステムに完全に収納されています。 - 小さな設置スペース（130 x 130 x 43 mm）で最大80 mmの移動が可能。 - 最大2.3 µmの繰り返し精度 - コンパクトな多軸システムに簡単にスタック可能 オプション - DCモーターまたはステッピングモーターを使用可能 - 3軸コンパクトユニットMP130-3 - DT130回転ステージと組み合わせ可能 - 剛性を高めるステンレススチール製オプション - クリーンルーム、真空、EUV用バージョン 適用分野 カメラ、顕微鏡（AFM、WLI）、最小スペースXYZ多軸システムのセットアップ、産業・研究用マニピュレーター、コンパクトクリーンルーム位置決めシステム、ウェハー検査、ウェハープローバーアライメントなど、狭いスペースでの位置決め 技術データ - トラベル: 50 mm, 80 mm - 一方向の繰り返し精度： ± 2.3 µm - 双方向繰返し精度： ± 4.3 µm - 精度： ± 8.1 µm、± 9.7 µm - 位置決め速度：20 mm/s - 最大加速度 0.4 m/s2 - 最大荷重最大荷重Fx：45 N - 最大荷重最大荷重Fy：95 N - 最大荷重最大荷重 Fz: 95 N