リニアポジショニングステージ MT95
電動単軸クロスローラー

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
タイプ
電動
軸の数
単軸
その他の特徴
精密, コンパクト, 産業用, 小型, ウェハー運搬用, クロスローラー
ストローク

最大: 40 mm
(1.575 in)

最少: 1 mm
(0.039 in)

速度

最大: 2.2 mm/s

最少: 1 mm/s

繰返し精度

最大: 5 µm

最少: 1.5 µm

積載量

最大: 6.5 kg
(14.33 lb)

最少: 3 kg
(6.61 lb)

詳細

MT95 モーター内蔵小型ポジショナー MT95 ミニチュアリニアステージは、クロスローラベアリングにより、優れた真直度と平坦度を提供します。駆動は歯付ベルトトランスミッションで方向転換されるため、軸内に完全に収容することができます。 - 小さな設置スペースに最適(95 x 95 x 40 mm) - 最大±2.1 µmの繰り返し精度 - コンパクトな多軸システムに簡単にスタック可能 オプション - DCモーターまたはステッピングモーターを使用可能 - 3軸コンパクトユニットMP95-3 - クリーンルーム用、真空用も製作可能 技術データ - トラベル:40 mm - 一方向再現性: ± 2.1 µm - 双方向繰返し精度: ± 4.1 µm - 精度: ± 5.4 µm - 位置決め速度: 5.8 mm/s - 最大加速度 0.1 m/s2 - 最大荷重荷重Fx:30 N - 最大荷重最大荷重Fy:65 N - 最大荷重最大荷重 Fz: 65 N

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。