リニアポジショニングステージ MT53

圧電単軸クロスローラー

MT53 高分解能マイクロステージ シュタインマイヤー・メカトロニック製品群の中で最小のステージは、非常に高い分解能を提供します。小型化設計により、スペースが限られ、高水準が要求される用途に最適です。 ピエゾモータによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域のステップを可能にします。真空および非磁性バージョンでは、このマイクロステージは厳しい環境での使用に最適です。 マイクロマシニングやマイクロアセンブリに最適です： MT53は、要求の厳しいマイクロマシニングおよびマイクロアセンブリ用途に使用できます。また、研究開発用途や半導体産業にも最適です。 技術データ - 移動: 10 mm - 一方向再現性： ± 0.2 µm - 双方向繰返し精度： ± 0.3 µm - 精度： ± 0.8 µm - 位置決め速度： 5 mm/s - 最大加速度 0.1 m/s2 - 最大荷重負荷 Fx: 5 N - 最大荷重最大荷重 Fy： 8.8 N - 最大荷重最大荷重 Fz: 8.8 N