回転ポジショニングステージ DT65

電動式制御機付

HV / UHV、DUV、クリーンルーム ISO 6、無制限移動、最高 0.003°、最高速度 540°/秒、最大荷重 1 kg - クリーンルーム: ISO 6クラスまでのバリエーション（ご要望に応じてそれ以上のクラスにも対応可能） - 真空: HV / UHVの全レンジ、最大10-11 mbar - 潤滑: 液体 10-8 mbar まで / 乾式 10-11 mbar まで - 最大ベークアウト温度100°C オプションで設定可能 - 磁性タイプと低磁性タイプをご用意 - 用途に合わせた材料選択と潤滑 - コントローラーFMC400/450オプション - 3D設計、プロトタイプ、連続生産によるカスタマイズ開発 小型でダイナミックな回転ステージ 製品ラインナップの中で最小の真空回転ステージは、その高いダイナミクスとスピードで印象的です。真空および低磁性設計のDT65は、厳しい環境でのアプリケーションに最適です。そのため、特に研究開発や実験物理学の分野で使用されています。要求の厳しい多軸システムに組み合わせることができ、当社のFMC 400/450コントローラで簡単に制御できます。 応用分野 研究開発、多軸システムのセットアップ、ビームライン装置、シンクロトロン、材料研究、材料分析、ウェハー検査、半導体品質管理、半導体研究