回転ポジショニングステージ DT105

圧電2軸閉ループ

アパーチャー付き高分解能回転ステージ HV/UHV、DUV、クリーンルームISO 6、n x 360°、rep 0.0005°、荷重3 kg、速度270°/秒 - クリーンルーム： ISO 6クラスまでのバリエーション（ご要望によりそれ以上のクラスにも対応可能） - 真空：HV/UHVの全レンジ、最大10～11 mbar - 潤滑液：最大10-8 mbar / 特殊構成ドライ：最大10-11 mbar - ベークアウト温度ベークアウト温度100°C オプションで設定可能 - 磁性体バージョンと低磁性体バージョンがあります。 特別構成としてマグネットフリー) - 用途に合わせた材料選択と潤滑 - コントローラFMC400/450のオプション - 3D設計、プロトタイプ、連続生産によるカスタマイズ開発 限られた設置スペースでの高解像度画像処理 このコンパクトでフラットな回転ステージは、高速プロセスにおいて真空中で極めて高い解像度を実現します。36mmの透過光により、微小サンプルの精密な位置決め、測定、分析が可能です。要求の厳しい多軸システムに組み合わせることができ、当社のFMC 400/450コントローラで簡単に制御できます。 応用分野 高精度でダイナミックな顕微鏡観察（例：AFM、電子顕微鏡、イオン顕微鏡、走査型電子顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、ラボ用顕微鏡、イメージングシステム、サンプル分析、ビームライン装置、シンクロトロン、材料研究、材料分析