回転ポジショニングステージ DT230

電動式単軸顕微鏡

高分解能、安定アパーチャロータリーステージ UHV、DUV / EUV、クリーンルーム ISO 6、n x 360°、rep 0.0002°、速度 180°/秒、荷重 15 kg - クリーンルーム: ISO 6クラスまで対応可能（ご要望によりそれ以上のクラスにも対応可能）。 - ビーム：UV、DUV、EUV（X線、ガンマ線は要相談） - 真空：HV/UHVの全レンジ、最大10-11 mbar - 潤滑：液体10-8 mbarまで/ドライ10-11 mbarまで - ベークアウト温度ベークアウト温度120°C オプション - マグネット、低マグネット、マグネットフリー仕様あり - 用途に合わせた材料選択と潤滑 - クリーンルーム用、研究室用、生産用バージョン - FMC400/450 コントローラーまたは PLC 接続のオプション - 3D設計、プロトタイプ、連続生産による顧客仕様の開発 応用分野 高解像度、安定性に優れた検査/顕微鏡、例：AFM、電子顕微鏡、イオン顕微鏡、走査型電子顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、半導体技術における透過光測定、ウェハー検査、ラボ顕微鏡、イメージングシステム、サンプル分析、ビームライン装置、シンクロトロン、材料研究、材料分析