XYZ軸ポジショニングステージ MP53

圧電3軸クロスローラー

高速、高精度マイクロポジショナー HV / UHV / EUV、移動量20 - 50 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重1 kg - 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジ - 潤滑液：最大 10-8 / ドライ：最大 10-11 mbar - ベークアウト温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネット仕様、低マグネット仕様、マグネットフリー仕様があります。 - 様々なモーターバリエーション：ピエゾモーターまたはナノモーション - 0.005µmまでの繰り返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで装備可能 - 回転アプリケーション用回転テーブルとの組み合わせが可能 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望によりクラス 1 まで対応可能） - オプションでコントローラ FMC400/450 を装備可能 高精度・動的アプリケーション用小型XYZマニピュレーター このマニピュレーターは、限られた設置スペースでX、Y、Zの3軸を高精度に動かすことができます。最大50mmのストロークを実現します。ピエゾモーターを搭載しているため、高真空や超高真空での高精度用途において、数ナノメートルの位置決めが可能です。オプションでナノモーションを搭載すれば、特に高ダイナミックで高精度な位置決めに最適です。 応用分野 極小スペースでの精密位置決め、顕微鏡、半導体技術、超高真空・極紫外線下での研究、サンプル前処理、サンプルスキャン、サンプルハンドリング、カメラ調整、センサー調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン、小型化