リニアポジショニングステージ LA97-MT85

圧電2軸精密

精密垂直LA97-MT85 用途多目的マニピュレーター メリット：高解像度スキャン用 特徴高解像度の位置決め - 真空：HV/UHV 10-11までの全圧力範囲に対応 - 磁気: 磁気 - 潤滑： 液体 10E-8 / ドライ 10E-11 mbarまで - ベークアウト温度ベークアウト温度: 80°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - オプションでFMC400/450コントロールユニットを装着可能 - 技術データ - 移動範囲: 20 mm - 200 mm - 繰り返し精度 ± 0.02 µm（一方向） ± 0.03 µm（双方向） - 荷重： → 200 N / ↑ 20 N - 最大速度最高速度： 10 mm/s - モーターピエゾモーター - ガイドクロスローラーベアリング、ステンレススチール、ハイブリッド、セラミック（オプション - フィードバックリニア測定システム - 分解能測定システム 0.001 µm - 0.1 µm