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- 電動マニピュレーター
- Steinmeyer Holding GmbH
電動マニピュレーター 3LT300真空式ポジショニング3軸
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特徴
- 作動
- 電動
- グリップ装置
- 真空式
- 応用
- ポジショニング
- その他の特徴
- 3軸
- 最大ストローク
10 mm
(0 in)
詳細
3台のLT300からなる3軸マニピュレーター
アプリケーション HV 3軸位置決めシステム
利点：位置決め到達時の安定性が非常に高い、ドライダブル
特徴 ピエゾブレーキによる安定化
- 真空：10-11までのHV/UHVの全圧力範囲
- 磁気： 磁気
- 潤滑：液体 10E-8 / ドライ 10E-11 mbarまで
- ベークアウト温度ベークアウト温度：120°C
オプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応
- オプションでFMC400/450コントロールユニットを追加可能
技術データ
- 移動範囲10 mm - 100 mm
- 繰り返し精度
± 4 µm（一方向）
±5μm（双方向）
- 荷重： → 200 N / ↑ 20 N
- 最大速度最大速度： 10 mm/s
- モーターピエゾモーター
- ガイドクロスローラーベアリング、ステンレススチール、ハイブリッド
- フィードバックリニア測定システム、オープンループ
- 分解能測定システム 0.001 µm - 0.1 µm
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