リニアポジショニングステージ LA85

電動単軸精密

フォーカスリニアステージ HV/DUV、クリーンルーム仕様 ISO 6、移動量25～50 mm、レップ1.6 µm、速度60 mm/s、荷重4 kg - 真空：HVの全レンジ、最大10-8 mbar - クリーンルーム: ISO 6クラスまでのバリエーション（ご要望に応じてそれ以上のクラスも対応可能） - 潤滑液：最大10-8 mbar - ベークアウト温度ベークアウト温度100°C オプションで設定可能 - オプションで、0.3 µmまでの繰返し精度と位置フィードバック用のリニアスケールを追加できます。 モニタリング - ニッケルメッキのアルミ製部品は、医療技術や製薬産業での衛生要件に対応します。 ニッケルメッキのアルミニウム部品 - クリーンルーム、真空、製薬、食品産業用の特殊潤滑装置 - 3D設計、プロトタイプ、連続生産によるカスタマイズ開発 - 水平・垂直アプリケーションへの統合が容易 コンパクトで堅牢なリニアステージは、クリーンルー ム、真空、高真空など、低排出ガスが要求されるアプリ ケーションに簡単に組み込むことができます。このリニアステージは、最適な価格性能比と、非常に高い耐久性を備えています。このため、このリニアステージは、大小のシリーズで支持されています。堅牢で非常に安定したベース構造は、最高の平坦度に研磨され、優れたオーバーラン値と最大分解能のための大きな剛性を可能にします。さらに、10E-8mBarのアウトガスを持つ、終端位置用のコンパクトな非接触スイッチングPCBスイッチを備えています。 光学的には、クリーンルーム条件やバイオテクノロジー、医療技術、食品産業、製薬技術での使用向けに、個別の特別構成が可能です。