リニアポジショニングステージ MT130

電動単軸精密

MT130 EUV 小型リニアステージ 155 x 130 x 43 mm、UHV/DUV/EUV、ISO 5、移動距離最大50 mm、レップ2.3 µm、荷重9 kg、速度40 mm/s - クリーンルーム: ISO 5クラスまでのバリエーション (ご要望に応じてそれ以上のクラスにも対応) - 真空：すべてのHV/UHV範囲 - ビーム：EUV、DUV、UV - 潤滑液：最大10-8mbar/ドライ：最大10-11mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプション - コンパクトな3軸位置決めシステムを形成するためにスタック可能：MP130-3 - DT130 回転ステージと組み合わせ可能 - 最大80 mmの移動範囲 - 高分解能測定システム - EUV 潤滑、小麦粉フリー / PFAS フリー UHV 潤滑 - 3D設計によるカスタマイズ開発、プロトタイプ、連続生産 モーター内蔵のコンパクトなEUVリニア軸 ミニチュアリニアステージは、バックラッシュのないクロスローラベアリングにより、非常に優れた走行値を実現します。ドライブは非常にコンパクトな位置決めシステムに組み込まれています。位置決めシステムには永久磁石ブレーキも装備されています。 応用分野 EUVクリーンルーム内での小型位置決め、例：カメラ、顕微鏡/センサー（AFM、WLI）、省スペースXYZ多軸システムの構築、産業・研究用アライナー、小型クリーンルーム用位置決めシステム、ウェハ検査、ウェハプローブアライメント