- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ MT85圧電単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, 産業用, ウェハー運搬用
- ストローク
最少: 25 mm
(0.984 in)最大: 50 mm
(1.969 in)- 速度
最少: 2.5 mm/s
最大: 5 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.2 µm
最大: 0.3 µm
- 積載量
最少: 6 kg
(13.23 lb)最大: 15 kg
(33.07 lb)
詳細
MDT85-PM
真空/クリーンルーム用リニアステージと軸
- クリーンルーム：クラス ISO 6 までのバリエーション（ご要望によりそれ以上のクラスも可能）
- 真空：すべてのHV / UHVレンジ
- ビーム: UV / DUV / EUV
- 潤滑：液体 10-8 / 乾燥 10-11 mbar まで
- ベークアウト温度ベークアウト温度140°C
オプション
- 開口部付きまたは開口部なし（Ø 25 mm）
- コンパクトな3軸位置決めシステムにスタック可能
- 磁性：マグネット、低磁性、マグネットフリー
- EUV潤滑、小麦粉フリー/PFASフリーUHV潤滑
- 3D設計によるカスタマイズ開発、プロトタイプ、連続生産
応用分野
EUVクリーンルーム内での小型位置決め（例：カメラ、顕微鏡/センサー（AFM、WLI）、透過照明測定、顕微鏡位置決め、省スペースXYZ多軸システムのセットアップ、産業・研究用マニピュレーター、小型クリーンルーム位置決めシステム、半導体アライメント、ビーム検査
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カタログ
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この販売者が参加する展示会
Precision Fair 2024
13-14 11月 2024 Brabanthallen, 's-Hertogenbosch - The Netherland (オランダ)
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