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- アクチュエータ･位置決め装置
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- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ PLT240電動単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, 産業用, ウェハー運搬用, 高負荷
- ストローク
最少: 200 mm
(7.874 in)最大: 850 mm
(33.465 in)- 速度
最少: 15 mm/s
最大: 30 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.4 µm
最大: 0.5 µm
- 積載量
最少: 20 kg
(44.09 lb)最大: 101 kg
(222.67 lb)
詳細
PLT240
精密高荷重リニアステージ
HV/UV/DUV、ISO 6、移動距離50～850 mm、荷重100 kg、分解能0.4 µm、幅240
- クリーンルーム: ISO 6クラスまで対応可能（ご要望によりそれ以上のクラスにも対応可能）
- 真空：全領域が高真空、潤滑液は最大10-7
- 最高温度ベークアウト温度：80
オプション
- 乾式潤滑リードスクリューまたは液体潤滑ボールスクリュー
- クリーンルーム、真空、ビーム用設計
- 窒素雰囲気設計
- 3D設計によるカスタマイズ開発、プロトタイプ、連続生産
- FMC400/450 コントローラーをオプションで提供
応用分野
半導体製造およびハンドリング、高負荷DUV位置決め、スキャニングアプリケーション用位置決め、搬送位置決め、半導体技術、超高真空、真空チャンバー、研究、ビームライン計装、電子機器組立および検査
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