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- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ KT106/170電動単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, 産業用, ウェハー運搬用
- ストローク
136 mm, 170 mm
(5.354 in, 6.693 in)- 速度
最少: 10 mm/s
最大: 20 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.6 µm
最大: 0.9 µm
- 積載量
最少: 49 kg
(108.03 lb)最大: 79 kg
(174.17 lb)
詳細
KT106/170
XYサンプルステージ
HV/UV/DUV、ISO 4、移動136 x 170 mm、レップ2.9 µm、荷重5 kg、速度20 mm/s
- クリーンルーム：ISO 4クラスまでのバリエーション（ご要望に応じてそれ以上のクラスにも対応可能）
- 真空：HVの全レンジ、最大10-7 mbar
- 潤滑：液体 最大10-7 mbar
- ベークアウト温度ベークアウト温度100°C
- 価格性能比の最適化
オプション
- 回転ステージ（例：DT105）と組み合わせ可能
- クリーンルーム用、ラボ用、生産用
- 3D設計、プロトタイプ、連続生産による顧客固有の開発
- オプションで FMC400/450 モーションコントローラを追加可能
応用分野
半導体技術、微細加工、質量分析計、光電子分光分析計、ラボアプリケーション、顕微鏡、高真空研究、サンプル前処理、サンプルスキャン、サンプルハンドリング、ウェハー検査、材料研究、材料分析用ポジショニング
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