ウェハー検査および計測学用配置システム KT470-SM

XYZ軸リニアクリーンルーム用

この検査システムは、御影石構造上のXYステージKT470と手動Z軸ユニットから構成されています。この組み合わせは、クリーンルーム用の生産システム/インラインプロセスの柔軟でモジュール化された設計に適しており、オプションで回転式または電動式のZ軸を拡張できます。 12インチ/300mmまでのウェハーのフレキシブルな検査プロセスに最適です。 交換可能なプロセスヘッド用ホルダー（顕微鏡、センサーなど） 様々なスキャン範囲と手動高さ調整（オプションでモーションコントローラを使用した電動化も可能） 低メンテナンスで24時間365日の生産が可能、クリーンルームクラスISO 6まで対応可能（ご要望によりそれ以上のクラスにも対応可能） オプション XY 200 - 350 mm、Z 200 - 400 mmの範囲で移動可能 プロセスへの適応：アパーチャー、サンプルホルダー、追加（電動）Z軸の拡張 減衰ゴム中間層または空気圧ダンパーによる振動減衰の適応 安全コンセプトと技術（非常停止、ドアスイッチ、ライトカーテン、レーザースキャナー、STO、SLS） フレーム、エンクロージャ、またはファブへの統合によるカスタマイズ設計 3D設計、プロトタイプ、連続生産による顧客固有の開発