幅160mmの高精度リニアステージ。アイアンレスダイレクトリニアモータ駆動。
高分解能の精密測定ステージ
PMT160-EDLMは、高分解能リニア計測システムと組み合わせた駆動コンセプトにより、サブミクロレンジのインクリメントと高速な位置決め速度を実現します。
コンパクトで産業用アプリケーションに最適
PMT160-EDLMは、ケーブル配線を内蔵したクローズドデザインにより、産業用アプリケーションに最適な精密測定ステージとなっています。誤差補正機能付きコントローラとの組み合わせにより、優れた精度を実現します。
連続的な動的負荷にもかかわらず長寿命
磨耗のない駆動コンセプトにより、PMT160-EDLMは、レーザー技術や半導体産業など、高加速度環境下でも優れた寿命を保証します。
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