真空対応ポジショニングステージ KDT310 series

XY軸電動式2軸

- 真空：全レンジ HV / UHV 最大 10E-8 mbar - 潤滑油：10E-8 mbarまで - 最大ベークアウト温度100°C - 開口部：X 90 x 90 mm、Y 150 x 150 mm アパーチャー付き位置決めシステムは、高真空や超高真空のアプリケーションのための精密で頑丈なXYステージを設計するために、2つのリニアステージから結合されました。プロファイルレールガイドと高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 また、回転ステージDT155との組み合わせが容易で、幅広い用途に対応します。 適用分野 ラボ用精密位置決め、顕微鏡・半導体技術、超高真空・極端紫外線下での研究、試料作成、試料走査、試料処理、バイオチップ、ウェーハ検査、ウェーハアライメント、カメラ調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン