XY軸ナノ位置決めステージ KLT300 series

電動式2軸真空対応

- 真空：HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油：最大10-8 / ドライ：最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - アパーチャー: 80 x 80 mm オプションで設定可能 - 測定システム付きまたは測定システムなし - オプションでリードスクリュー駆動または潤滑式ボールスクリュー駆動による高速化も可能 - 回転アプリケーション用に回転テーブル（例：DT155）との組み合わせが可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルームISO 14644-1に準拠した設計（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで用意 ドライ運転でもナノメートル領域で最高の安定性を実現 透過光用アパーチャを備えた位置決めシステムは、2台のLT300リニアステージを組み合わせて、高真空、超高真空、極端な紫外線照射下での用途に適した、精密で頑丈なXYステージを形成しています。このシステムは完全無給油で動作します。クロスローラーガイドとリードスクリューのコンセプトにより、ナノメートル領域で非常に高い安定性を実現しています。また、オプションとして、潤滑式ボールネジ駆動による高速化も可能です。 応用分野 重量物の精密位置決め、超高真空・極端紫外線下での研究、試料調製、試料スキャン、試料ハンドリング、バイオチップ、カメラアライメント、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン