真空対応ポジショニングステージ MT105 series

リニア圧電リニアモータ駆動

- 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル（例：DT105）との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム仕様 ISO 14644-1（ご要望によりクラス1まで対応可） - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 厳しい環境条件にも対応する柔軟性と汎用性 MT105 は、高い動的性能と速度が印象的な、汎用性の高いマイクロステージです。高真空、超高真空、非磁性などの過酷な条件下で、優れた走行精度および位置決め精度を実現するよう設計されています。また、オプションでモーターを2台搭載し、より高荷重の位置決めを行うことも可能です。 応用分野 超高真空・極端紫外線下での半導体技術、ウェハーアライメント、カメラアライメント、センサーアライメント、コンタクト検査、ミラーアライメント、プロービング、真空チャンバー、研究、ビームライン計測、電子機器組立・検査、高精度スキャンアプリケーション、マイクロアッセンブリー