真空対応ポジショニングステージ LA170 series

XYZ軸電動式多軸

- 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - 磁気バージョンもあります オプションで設定可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで用意 多軸システムの強力なコンポーネントとして、また複数のサンプルを同時にスキャンするために使用されます。超高真空中で高荷重をかけながら、垂直方向にも高精度の位置決めが可能です。 応用分野 多軸システムセットアップ、プロセスオートメーション、3Dスキャン、サンプルスキャン、イメージングシステムの位置決め、顕微鏡、サンプル分析、半導体検査、バイオテクノロジーおよび半導体技術における品質保証、研究、ビームライン、加速器、シンクロトロン