- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- XYZ軸ポジショニングステージ
- Steinmeyer Mechatronik GmbH
真空対応ポジショニングステージ LA170 seriesXYZ軸電動式多軸
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特徴
- 方向
- XYZ軸
- タイプ
- 電動式
- 軸の数
- 多軸
- その他の特徴
- 高精度, 真空対応, 顕微鏡, 重荷重用, はめ込み式ステッピング モーター付, 制御機付, ウェハー運搬用, クロスローラー
- ストローク
60 mm, 130 mm
(2.362 in, 5.118 in)- 速度
5 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.5 µm
最大: 4 µm
詳細
- 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar
- 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar
- 最高温度ベークアウト温度120°C
- 磁気バージョンもあります
オプションで設定可能
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式
- チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応
- クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能）
- コントローラFMC400/450をオプションで用意
多軸システムの強力なコンポーネントとして、また複数のサンプルを同時にスキャンするために使用されます。超高真空中で高荷重をかけながら、垂直方向にも高精度の位置決めが可能です。
応用分野
多軸システムセットアップ、プロセスオートメーション、3Dスキャン、サンプルスキャン、イメージングシステムの位置決め、顕微鏡、サンプル分析、半導体検査、バイオテクノロジーおよび半導体技術における品質保証、研究、ビームライン、加速器、シンクロトロン
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