最大450×1000×1000 mmの大型部品検査用XYZガントリー|XYリニアモーター、エアベアリング|Zボールネジ、DCモーター
大型・高さのあるパーツの超精密測定
450×1000×1000mmを超える大型・高さのあるサンプルの高精度測定に適したXYZ位置決め装置です。Z軸に顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZ俯瞰移動で測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングや、2D・3Dイメージングに対応した数々の測定機能を実現しました。
各プロセスに柔軟に対応
- 最大450 x 1000 x 1000 mmの大型部品の高精度検査に最適
- 極めて高い剛性により、ナノメートル領域での分解能を実現
- お客様専用の顕微鏡、カメラ、センサーに個別に対応可能
- 最大1210mm/sの高速処理による卓越した高スループット
- エアベアリングによる低メンテナンスと柔軟な24時間連続運転
オプションで拡張可能
- 走行距離、長さの組み合わせ、ケーブル配線、動作の適合性
- 顧客固有のアプリケーションに合わせたカスタマイズと統合
- サンプルソフトを含む設定済みコントローラーですぐに使用可能
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