XYZ軸配置システム 782300:183.26
リニア自動門型

XYZ軸配置システム
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特徴

軸の数
XYZ軸
構造
リニア, 自動, 門型
応用
研究用
その他の特徴
DCモーター, 高解像度, 空気軸受, ボールねじ, クロスローラベアリング, リニアモータ駆動, プロフィールレール上
繰返し精度

1 µm, 1.4 µm, 2 µm

詳細

3D検査、厚み測定用XYZガントリー|XYリニアモーター、プロファイルレール、エアベアリング|Zボールネジ、DCモーター|最大移動量600 x 600 mm 高分解能透過率測定用マイクロスコープホルダー付きハイスループット ガントリー 透過率測定による高精度かつ安定した垂直検査工程を可能にするXYZガントリーです。固定ガントリーのZ軸には、様々な測定用途に合わせた顕微鏡を取り付けることが可能です。キャリアは従来のHガントリーで移動し、エアベアリングでスライドします。上と下からの透過光の珍しい組み合わせは、要求の厳しい透過率測定に特に適しています。XYZ-ガントリは、すぐに使用できるモーションコントローラと一緒に納入することができ、信頼性の高いパラメータで動作します。 両側からの自動透過光検査工程に最適 - 自動光学検査プロセスのセットアップと拡張に最適です。 - 最大600×600mmまでの複数または大型キャリアの両面透過光検査が可能 - 振動減衰設計により、1µm までの繰り返し精度を実現する優れた処理値 - 複雑な表面形状や粗さにも対応した詳細な画像処理 - エアベアリングサンプルキャリアによるエミッションの低減 - 卓越した寿命とメンテナンスフリーの24時間365日稼動 オプションで構成可能 - 移動範囲、キャリア、長さの組み合わせに対応 - 安全カバーと異なるベースプレート - 表面は拭き取り可能で、耐薬品性に優れています。 - ISO 14644-1 バージョン(ご要望によりクラス 1 まで対応可能) - サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラーですぐに使用可能

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