3D検査、厚み測定用XYZガントリー|XYリニアモーター、プロファイルレール、エアベアリング|Zボールネジ、DCモーター|最大移動量600 x 600 mm
高分解能透過率測定用マイクロスコープホルダー付きハイスループット ガントリー
透過率測定による高精度かつ安定した垂直検査工程を可能にするXYZガントリーです。固定ガントリーのZ軸には、様々な測定用途に合わせた顕微鏡を取り付けることが可能です。キャリアは従来のHガントリーで移動し、エアベアリングでスライドします。上と下からの透過光の珍しい組み合わせは、要求の厳しい透過率測定に特に適しています。XYZ-ガントリは、すぐに使用できるモーションコントローラと一緒に納入することができ、信頼性の高いパラメータで動作します。
両側からの自動透過光検査工程に最適
- 自動光学検査プロセスのセットアップと拡張に最適です。
- 最大600×600mmまでの複数または大型キャリアの両面透過光検査が可能
- 振動減衰設計により、1µm までの繰り返し精度を実現する優れた処理値
- 複雑な表面形状や粗さにも対応した詳細な画像処理
- エアベアリングサンプルキャリアによるエミッションの低減
- 卓越した寿命とメンテナンスフリーの24時間365日稼動
オプションで構成可能
- 移動範囲、キャリア、長さの組み合わせに対応
- 安全カバーと異なるベースプレート
- 表面は拭き取り可能で、耐薬品性に優れています。
- ISO 14644-1 バージョン(ご要望によりクラス 1 まで対応可能)
- サンプルソフトウェアを含む、設定済みコントローラーですぐに使用可能
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