XYZ軸配置システム 782481:001.26

門型ウェハー検査および計測学用顕微鏡用

ウェハ検査、顕微鏡用XYZ AFMガントリ｜最大移動量550 x 1550 mm｜エアベアリング、ボールネジ、ベルト、ステッピングモータ 高安定なAFMエアベアリングガントリ、広い移動範囲 この高剛性XYZガントリーは、特に大きなガラスサンプルの高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFMのためのZ方向の可動カンチレバーがあります。 カンチレバーは試料に正確に位置合わせされ、表面レリーフを取得するためにU字型の中の任意の位置に移動させることができます。エアベアリングにより、優れた面内位置決め精度を実現しています。最大試料重量は500kgです。 要求の厳しい測定に対応する原子レベルの安定性 - 振動の影響を受けない高剛性・高精度な測定に最適 - 150 x 275 x 50 mmの移動量による高いスループット、550 x 1550 x 50 mmまで拡張可能 - 静止状態で5nm以上の極めて高い安定性 - 磨耗のないエアベアリングによる優れた長寿命化 オプションで拡張可能 - プロセスへのさらなるセンサーの統合 - トラバース経路、長さの組み合わせ、ケーブル配線、制御システムのカスタマイズが可能 - 建物の振動から保護するための脚部 - クリーンルーム ISO 14644-1 に対応（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - 排気用コネクション - バイオテクノロジー、医療技術、製薬、半導体向けの特別構成 - オプションで、すぐに使えるようにあらかじめ設定されたコントローラー（例：ソフトウェア付き）を用意