XY軸配置システム 782344:025.26

リニアダブルトラニオン式クリーンルーム用

ウェーハステッパー用レンズの高精度調整を実現するダブルXY直動軸｜クリーンルームでの超微細UV露光 - 精密アセンブリ 2つの光学系を高精度に調整 ウェーハステッパー用に特別に開発された高精度なダブル直動軸です。UV露光の際、より微細な構造を実現するために、2つのレンズを相対的に、また一緒に位置決めする必要があります。このソリューションは、共通のガイドシステム上の2つのスライド軸で構成されています。2つの移動スライドキャリッジはそれぞれ3つのキャリッジを持ち、レンズをできるだけ接近させるために、互いの中で部分的に移動することができます。 極度に乾燥した環境下での超微細画像処理 - ウェーハステッパーシステムの歩留まりと解像度を最大化するために特別に開発されました。 - 350mmの移動距離でレンズ同士を同時に位置決め可能 - 極めて乾燥したクリーンルーム環境下での1.5 µmの繰り返し精度 - 交換可能なモーターエンコーダーアセンブリによる容易なメンテナンス 特別な機能 - UV適合性 - 表面研磨仕上げ - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - 設定済みコントローラーですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き