XYZ軸配置システム 217999

リニアウェハー検査および計測学用DCモーター

可変荷重・移動体用XYZ測定システム｜XYZボールねじ、クロスローラー、DCモーター、リニア測定システム 変動荷重でも高精度な測定が可能 このXYZ位置決めシステムは、変動荷重や移動する物体の高精度測定に特化して設計されています。重量クラスの異なる測定物を次々に測定しなければならない場合、従来の測定ステージではすぐに限界に達してしまいます。このXYZ測定システムは、この問題を解決するソリューションを提供します。 最大30kgまでのサンプルに対応する完璧な平面度および真直度 - 高さのある部品の測定や3Dプロファイルの取得に最適 - 負荷に左右されない±1μmの高精度測定、移動する物体も測定可能 - 測定誤差を5 µrad以下に大幅に低減 - 真直度±0.5 µm、平面度±1 µmの完璧な真直度を実現 - 平坦度に依存しないインターフェースと調整可能性 オプションで設定可能 - 様々なモーターバリエーション。DCモーターまたはステッピングモーター - DT130またはDT200との組み合わせによる回転運動 - バイオテクノロジー、医療技術、製薬、半導体のための特別な構成 - クリーンルーム ISO 14644-1（ご要望によりクラス1まで対応可能）。 - あらかじめ設定されたコントローラ（例：ソフトウェア）と共に使用することができます。