光応用ナノ配置システム 782300:130.26

3軸XYZ軸リニア

高精度自動光学検査用XYZ位置決めシステム｜ボールネジ、クロスローラー、DCモーター、リニア測定システム サブミクロンレンジの高安定な非接触光学測定が可能です。 この3軸位置決めシステムは、XYステージがZ軸上のセンサーやカメラに対して極めて低いピッチとヨーの誤差で測定物を移動させるような場合、高精度な測定アプリケーションのために開発されました。例えば、高さのある部品でも部品を測定したり、3次元プロファイルを記録する場合などがこれにあたります。XYZシステムは、花崗岩のガントリー上のKT310クロステーブルとPMT160リニアテーブルの耐久性のある標準軸で構成されています。 高精度で安定した測定結果 - 高精度な自動検査工程に最適 - 0.3 µm までの高い再現性 - 測定誤差を3 µm以下に低減 柔軟な構成が可能 - 最大150mmまでの移動量 - オプションで異なる測定システムの分解能に対応 - DT200との組み合わせで、回転運動が可能 - 平坦度に依存しないインターフェースと調整オプション - 様々なモーターバリエーション。DCモーターまたはステッピングモーター - クリーンルームISO 14644-1に対応するバージョン - サンプルソフトを含む設定済みコントローラーですぐに使用可能