XZ-Phiシステム|Xリニアモーター、ボールネジ|Z DCモーター、クロスローラー|Phiトルクモーター
リニア軸と回転ステージによる高精度な測定システム
高精度で耐久性の高い標準軸(PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM)を組み合わせ、高精度な測定セットアップを可能にするX-Z-Phi多軸位置決めシステムです。水平移動の場合、PMT160-300-EDLMは、サブマイクロメータレンジの最小ステップサイズと高速な位置決めを可能にします。リニアスケールの精度を最大限に引き出すために、リニアスケールは測定する距離と一直線上に配置されています(アッベのコンパレータの原理)。リニアスケールは、テーブルとは別に、回転テーブルの前方、測定する部品の高さに放射状に設置されます。
高精度で信頼性の高い計測
- 高精度な計測システムのセットアップに最適です。
- サブミクロンレンジで最大0.1 µm / 0.0001°の測定システム分解能
- 0.3 µm までの高精度繰り返し精度
- 0.001°までの高精度な回転運動
- 低メンテナンス、超長寿命
柔軟な構成が可能
- 様々なモーターバリエーション。DCモーター、ステッピングモーター、リニアモーター、ナノモーション
- 設定済みのコントローラですぐに使用可能(例:ソフトウェア付き
- クリーンルーム用バージョン ISO 14644-1
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