多軸配置システム 782300:212.26

リニア回転式光応用

X 光学レンズ、シリンダーの位置決め用ファイシステム 例：スタイラスゲージ｜X DCモーター、ボールねじ、クロスローラー、リニア測定システム｜ファイ ACサーボ、角度測定システム 優れた安定性で高解像度を実現 このX-Phi位置決めシステムは、高精度で耐久性のある標準軸のPMT160リニアステージと、回転用のDTS130-HMで構成されています。試料を測定位置に正確に移動させるため、追加の送り軸を必要としない測定アプリケーションに最適です。 高精度で信頼性の高い測定結果 - ウェハーや光学部品など、円形部品の光学測定に最適 - 高精度の回転運動とストロークにより、ローディング軸の追加購入が不要 - 0.0017 までの高い繰返し精度 - 測定位置まで1.9μmをXで高精度に移動 オプションで設定可能 - 最大300mmまでの移動が可能 - ベースプレートは花崗岩またはアルミニウム製 - 内部スケール（270 mm）付きも可能 - 他の回転ステージ（例：DT200）との組み合わせが可能 - クリーンルームISO 14644-1対応可能 - 設定済みのコントローラですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き