XYZ軸配置システム 782300:193.26

リニアウェハー検査および計測学用品質管理用

検査・品質管理用XYZシステム｜XY DCモーター、クロスローラー｜Z DCモーター、ボールネジ、リニア測定機 誤差の少ない高精度な検査 直線3軸の位置決めが可能な位置決めシステム。本機では、KT470クロステーブルにPMT160リニアステージをアダプターブラケットで搭載。クロスローラーを使用することで実現した、真直度や平面度などの低い振れ誤差を実現しています。その結果、良好な補正の基礎となる平均以上の繰返し精度を実現しました。これにより、測定用途において極めて高い精度を実現します。 光学系の品質管理に最適 - 0.3 µm までの非常に高い振れ精度と繰返し精度 - コスト効率の高い駆動方式で最大150Nの荷重を位置決め - 最大50 mm/sの高速回転 - ランダム誤差を最小化 - 既存のカメラシステムおよびセンサーとの容易な統合と柔軟な組み合わせ オプションで拡張可能 - Z軸の移動量は50～300mmまで選択可能 - 多様なモーターバリエーション。DCモーターまたはステッピングモーター - 設定済みコントローラですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き - クリーンルーム用バージョン ISO 14644-1