3軸配置システム 782300:186.26

XZリニアウェハー検査および計測学用

ラボ用XZシステム｜ボールネジ、DCモーター、クロスローラー、リニア計測システム 高精度・モジュール式3軸システム XZシステムは、PMT160の高精度で耐久性のある標準的なリニア軸で構成されています。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が求められるすべての用途に適しています。XZシステムは、ソフトウェアだけでなく、コントローラーもすぐに使用でき、信頼性の高いパラメータで動作します。 柔軟性があり、即座に運用可能で、テスト済み - アプリケーションのセットアップや拡張に最適です。 - 0.4 µmまでの高精度な繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度でも、最小のステップと最高の信頼性を実現 - 5kgまでの中荷重の位置決めにおいて、±1%の完璧な平面度 オプションで拡張可能 - 1軸あたり50～300 mmの様々な移動量 - DT130またはDT200との組み合わせで回転運動が可能 - 様々なモーターバリエーション。DCモーター、ステッピングモーター、リニアモーター、ナノモーション - 設定済みのコントローラーですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き - クリーンルームISO 14644-1対応バージョン