XYZ軸配置システム 782300:222.26

リニアウェハー検査および計測学用半導体産業用

大容量サンプルに対応したXYZインライン自動ウエハ検査装置 本検査装置は、50kgまでの大型平板キャリアの自動品質管理用に特別に設計されています。位置決めシステムは、非常にコンパクトなフットプリントで、センサーをZ方向に、試料をXY方向に、同時に位置決めすることができます。また、スピンドルドライブとスピンドルブレーキの組み合わせにより、最適な自己保持力を保証し、非通電状態でも垂直位置を維持することができます。また、低公害の全周囲密閉型システムは、粉塵や煙のある厳しい産業環境にも適しています。ケーブル配線のために、花崗岩にサスペンションシステムが取り付けられています。 価格性能比を最適化したコンパクトなデザイン - 最大650 x 650 mmの大型キャリアの表面検査に最適 - 2 µm までの繰り返し精度を持つ精密測定 - ステッピングモータ駆動による優れた価格性能比 - 最大20kgまでのセンサー、顕微鏡、カメラ用の強力で堅牢なZ軸 - 粉塵、煙などの産業環境に最適 オプションで拡張可能 - 最大1000mmまでの様々な移動量 - フレームおよびベースプレート（花崗岩またはアルミニウム製）の有無 - ISO 14644-1準拠（ご要望によりクラス1まで対応可能） 例：エンクロージャー付き、排気装置付き - ケーブル取り回しのための個別ソリューション - 減衰ゴム層または空気圧ダンパーによる適切な振動減衰。 - 設定済みコントローラーですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き