XYZ軸配置システム 782300:265.26

リニアウェハー検査および計測学用半導体産業用

高安定な非接触光学測定。 カスタム顕微鏡やカメラ、センサーを搭載するためのZ垂直ユニットが独立したXYコンビネーションです。御影石プレートにステッピングモーターを搭載したクロスステージKT310は、被検査ウエハーを高精度に顕微鏡に移動させ、安定した高解像度イメージングを可能にします。内蔵モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、設置スペースを有効に活用し、優れた精度を実現します。 細部にわたる高精度な解析が可能 - ウェーハ、プリント基板、プローブカードの光学式検査に最適です。 - 各種カスタム顕微鏡、カメラ、センサーに容易に対応可能 - 最大200 x 200 mmまでのウェーハの高精度表面検査が可能 - ステッピングモーター駆動のため、メンテナンスが容易で、価格性能比が最適化されています。 オプションで拡張可能。 - その他の移動量と長さ - 花崗岩またはアルミニウム製のフレームとベースプレート付き/なし - ISO 14644-1準拠（ご要望によりクラス1まで対応可能） 例：エンクロージャー、排気装置付き - ケーブル取り回しのための個別ソリューション - 減衰ゴム層または空気圧ダンパーによる振動減衰の調整 - 顧客固有のアプリケーション全体への統合