あらゆる角度から微小画素を高精度に検査することが可能
高精度位置決めシステムにより、検査対象のディスプレイをXYステージ上で移動させ、お客様専用のカメラまたはセンサーを設置します。カメラ/センサーはいずれも首振りや高さ調整が可能です。さらに、個々の検査対象物の違いを補正するために、検査対象のディスプレイを測定面に対して平行に傾けて位置合わせをすることもできます。ディスプレイのXY Rz方向の位置決めにより、カスタマイズされたカメラで、空間放射挙動のどの角度からでも各画素を評価することができます。
最適化された価格性能比を持つコンパクトなポジショニングソリューション
- 5自由度以上のコンパクトな検査システムの柔軟なセットアップに最適です。
- 各ピクセルの空間放射を 2.5 µm / 0.005° の再現性で高精度に測定可能
- 同軸回転システムによる安定した高剛性構造で、カメラ/センサーを共通の中心点から旋回させることが可能
- ステッピングモーター駆動により、メンテナンスが容易で、価格性能比が最適化されています。
オプションで拡張可能。
- さまざまな移動手段
- センサーインターフェースをお客様のカメラに適合させることができます。
- ISO 14644-1準拠(ご要望によりクラス1まで対応可能)(例:筐体、排気装置付き)。
- ケーブル取り回しのための個別ソリューション
- お客様独自のアプリケーションに統合
- フレーム、ハウジング、制御を含むシステム全体の組み立てとソフトウェアによる試運転
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