ウェハー、生体試料検査用X線位置決め装置(クリーンルームISO 5)|回転軸とリニアステージ|検査・顕微鏡|製品紹介|イビデン株式会社
高精度な直線回転位置決め
このX Phiシステムは、センサーやカメラに対して正確に定義された角度でサンプル(例:ウェハー、生物学的サンプル)を位置決めすることができます。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内部に収納されています。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内に収納されています。
クリーンルーム用メンテナンスフリー位置決めシステム
- 半導体技術、バイオテクノロジー、製薬業界の検査に最適なシステム
- 0.3 µm までの繰り返し精度で高精度な測定が可能
- リニアステージの優れた平面性により、1つのセンサーで高精度の膜厚測定が可能
- ハウジングとベローズにより、パーティクルエミッションをISOクラス5まで低減
- メンテナンスフリー、工業用連続運転、ベースプレート上で簡単なシステム交換が可能
オプションで拡張可能
- クリーンルーム ISO 14644-1に対応したバージョン(ご要望に応じてクラス1まで対応可能)
- ベースプレートは花崗岩またはアルミ製
- 薬事承認済みの密閉型特殊モーター
- 放射線、真空などの過酷な環境条件に対応するバージョン
- お客様固有のアプリケーションに対応する拡張性
- 設定済みコントローラですぐに使用可能(例:ソフトウェア付き
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