XYZ軸配置システム 782300:199.26

4軸リニアウェハー検査および計測学用

12インチウェーハ、プリント基板に最適なXYZ Phi検査装置（クリーンルームISO 2） - 検査・顕微鏡 クリーンルーム対応ユニバーサル4軸グラナイトガントリー このXYZ Phi位置決めシステムは、クリーンルームISO 2までの半導体および電子機器製造における様々なテストおよび検査工程に使用することができます。XYで320 x 320 mmまで移動できる設計のため、12インチまでのすべての標準的なウェハサイズに適しています。リニアモータ駆動のKT405-320-EDLMメカニカルステージを使用して、Z軸方向にレーザー、センサ、カメラなどを高精度に操作することができます。センサーやカメラの上下移動は、PMT160-050-DC-R/L精密測定ステージで調整します（オプションでスイベルユニットを追加可能）。 要求の厳しいクリーンルームで高精度な検査を実現 - 半導体技術、バイオテクノロジー、製薬業界における要求の厳しい試験・検査工程に最適です。 - さまざまな測定・検査タスクに迅速に対応 - 最大100 mm/sの高速回転で0.3 µmまでの繰り返し精度を持つ高精度な測定が可能 - 保護カバー付きの安全設計 - クリーンルーム ISO クラス 2 までエミッション・フリー - ダンパー付き花崗岩ベース、スチールフレーム、保護フード付きコントロール、塗装済みハウジングを含むシステムの納品 オプションで拡張可能 - ISO 14644-1準拠（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - 回転軸付センサー用旋回アーム DT200 - 花崗岩またはアルミニウム製のベースプレート - 他の移動手段や異なるサンプル - 自動化プロセスへの組込みに適応可能 - 設定済みのコントローラですぐに使用可能（例：ソフトウェア付き