XYZ軸配置システム 782489:001.26

自動研究用DCモーター

多彩な測定作業を可能にする高精度検査装置 この3軸位置決めシステムは、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラに測定対象物を移動させる高精度な計測アプリケーションのために設計されています。xyステージは、DCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。内部モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 高精度で安定した測定結果 - 自動試料検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度な繰り返し精度 - 測定偏差を3 µm未満に低減 オプションで拡張可能 - 最大 200 mm までの各種移動量 - 花崗岩の台座付き/なし - 振動減衰装置付き/なし - ステッピングモーター、DCモーター、およびさまざまな測定システム分解能に対応 - Z軸の電動化（例：MT130またはPMT160との組み合わせ - DT200との組み合わせで回転運動が可能 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - サンプルソフトウェアを含む、設定済みのコントローラーですぐに使用可能