真空対応ナノ位置決めステージ LA97 series

リニア圧電単軸

LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空：全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑：液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式を採用 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで用意 水平および垂直方向のナノメートル単位の位置決め この真空リニア軸は、10～11mbar までのすべての HV / UHV レンジに適しています。垂直方向の位置決めにも使用できるため、汎用的に使用できます。真空中で極めて高い分解能と高い剛性を実現します。移動させる負荷に応じて、2～6個のモーターを挟み込むように配置することができます。 適用分野 高精度スキャンアプリケーション、マイクロアセンブリ、超高真空および紫外線下での半導体技術、真空チャンバー、研究、ビームライン計測、電子機器の組み立ておよび検査