真空対応ポジショニングステージ LA92-40-LM-L

リニア電動式単軸

高速リニア軸 HV / UHV / EUV、移動量40 mm、繰り返し精度0.4 µm、最大荷重2 kg 真空: 全領域 HV / UHV 最大 10E-11 mbar 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑が可能 - 高速XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）と組み合わせることができます。 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能です。） - コントローラFMC400/450との組み合わせも可能です。 超高真空での高速水平・垂直位置決め 直線軸は、主にサンプルのスキャンに使用されます。超高真空内で、垂直方向にも非常に高い分解能で高速に位置決めすることが可能です。モーターを内蔵した非常に狭い設計になっています。 応用分野 高解像度・高速スキャンアプリケーション、マイクロアセンブリ、超高真空中の半導体技術、真空チャンバー、研究、ビームライン計測、電子機器アセンブリおよび検査。