LA85 - 真空リニアステージ・軸
コンパクトなフォーカスリニアステージ
HV / UHV、25 mmトラベル、1.6 µm繰り返し精度、4 kg負荷
- 真空:HV / UHVの全レンジで最大10E-8 mbarまで対応
- 潤滑油:10E-8 mbarまで
- 最大ベークアウト温度100°C
- マグネットバージョン
オプションで設定可能
- 最大 50 mm までの延長可能な移動量
- 0.3 µm までの繰り返し精度、および位置フィードバックとモニタリングのためのリニアスケールをオプションで装備できます。
- 医療技術や製薬業界の衛生要件に対応したニッケルメッキのアルミ製部品(ご要望に応じます
- クリーンルーム、真空、製薬、食品産業向けの特殊な潤滑装置
- FMC220 または FMC400/450 コントローラーをオプションで提供
水平方向および垂直方向のアプリケーションに簡単に統合可能
コンパクトで堅牢なリニアステージは、クリーンルーム、真空、高真空など、低排出ガスが要求される用途に簡単に組み込むことができます。コンパクトで堅牢なリニアステージは、クリーンルーム、真空、高真空などの低排出ガス用途に簡単に組み込むことができます。また、非常に高い耐久性をテストし、最適な価格性能比を実現しています。このため、このリニアステージは大小のシリーズに好まれています。堅牢で非常に安定したベース構造は、最高の平坦度に研磨され、優れたオーバーラン値と最大の分解能のための巨大な剛性を可能にします。さらに、それは10E-8mBarにアウトガス、エンドポジションのためのコンパクトな、非接触スイッチングPCBスイッチを持っています。
さらに、バイオテクノロジー、医療技術、食品産業、製薬技術など、クリーンルーム環境での使用を想定した特別な構成も可能です。
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