リニアポジショニングステージ LA80 series

電動式単軸高精度

高速リニアステージ HV / UHV / EUV、移動量 200 -500 mm、繰り返し精度 0.4μm、荷重 5 kg - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV、最大 10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - ドライ潤滑にもかかわらず、キロメートル単位の寿命 - 最大ベークアウト温度120°C - マグネット仕様も可能 オプションで設定可能 - 測定システム付きと測定システムなしのオプション - アプリケーションに合わせた材料選択と真空潤滑が可能 - 高速XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能です。 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能です。） - コントローラFMC400/450との組み合わせも可能です。 ドライ運転でも長寿命 多軸システムや高ダイナミックトランスファーシステムの強力なコンポーネントとして使用される直線軸です。超高真空において、垂直方向でも極めて高い分解能で高速な位置決めを可能にします。ボールネジの採用により、高い剛性と高速での静止安定性を実現しています。このシステムは液体潤滑剤を必要とせず、何キロメートルもの寿命を提供します。 応用分野 超高真空・極端紫外線環境下での高精度搬送システム、半導体製造、露光プロセス用ビーム成形、表面分析およびセンサー位置決め、質量分析、有機ELコーティングプロセス、層厚測定および層速度測定、表面コーティング（スパッタリング、蒸着）、ビーム出口、実験セットアップ、本来の状態に近い試料調査用のセンサーアレイ