ハイダイナミクス&ハイスピードなマイクロステージ
MT105は、高い動性と速度を特徴とする汎用マイクロステージです。ピエゾモータの採用により、サイズに比べ大きな移動量と微小なステップサイズを実現しています。
フレキシブルで汎用的
MT105は、精密クロスローラベアリングを搭載しています。オプションで高荷重位置決め用モーターを2台搭載することも可能です。また、XYZシステムにも簡単に組み込むことができます。
過酷な環境に最適
研究開発における厳しい環境下では、しばしばオプションの特別なソリューションが必要とされます。MT105マイクロステージは、高真空、超高真空、非磁性体など、極限環境下でも優れた加工・位置決め精度を実現するよう設計されています。
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