XY軸ポジショニングステージ KT510-SM

電動式2軸高精度

変動する負荷条件下でも高精度を実現 ピッチやヨーの誤差が問題となる測定用途に特化して開発されたXY位置決めシステムです。最小のピッチおよびヨー誤差であっても、200 mmの全走行距離において25 µradまで低減することができます。10mmという短い測定経路では、さらに5分の1にまで低減することができます。 また、最大30kgまでの変動荷重に対応するクロステーブルも、堅牢なプレート設計により、高精度な測定を可能にします。XYステージは、2相ステッピングモーターと1mmピッチのスタインマイヤー社製ボールネジで構成されるモーターとスピンドルの組み合わせで駆動されます。 要求の厳しい測定用途に最適 - 最大30kgまでの変動荷重を高精度に位置決めします。 - 測定誤差を25 µrad (200 mm移動) にまで大幅に低減し、移動距離を最大5 µrad (10 mm) にまで短縮 - 完璧な真直度、平面度±1 応用分野 計測, 表面検査, 検査システム, 工具計測