XY軸ポジショニングステージ KT500-EDLM

リニアモータ駆動2軸高精度

フラット、正確、高速 KT500 は、その非常にフラットでコンパクトなデザインだけが特徴ではありません。350mmの移動量により、大きな基板や部品も全面に渡ってスキャンすることができます。また、すべてのプロセスパラメータを正確に再現できるように設計されており、エアベアリングシステムに匹敵する性能を実現しています。プラグ接続で取り外し可能なケーブルインターフェースにより、簡単な取り付けと50万回のフルストロークまでのメンテナンスフリー運転が可能です。 長寿命でダイナミックなXYシステム - 0.3 µm までの高精度繰り返し精度 - 最大速度 300 mm/s、加速度 1 G で、スタート/ストップ操作の時間を短縮 - 50万回のフルストロークまでメンテナンスフリーで、その後は簡単な再潤滑のみ - フルストローク200万回までの寿命 - 各方向に最大2つの電気力学的リニアモーターを使用可能：特に高速スキャンには2+2モーター、同等のダイナミクスには2+1モーターを使用 応用分野 高速スキャンアプリケーションとダイナミックウェブ走行（例：半導体検査、測定システム、自動光学検査（AOI）、測定装置、差動測定、エアベアリングシステムの交換など