高負荷で長時間の移動が可能
ステッピングモータ搭載XYステージKT470は、メトロロジーや表面検査に使用されています。クロスローラーを使用することにより、真直度や平面度に関して低い振れを実現することができます。これにより、平均以上の繰返し精度を実現し、良好な補正の基礎となります。これにより、測定用途において非常に高い精度を実現することができます。
- 経済的なドライブで最大230 Nの荷重を位置決め
- 最大40 mm/sの高速回転
- ランダム誤差を最小化
- 摩擦抵抗が少なく、非常に高い信頼性
- ラップドクロスローラベアリングの使用
コスト最適化と信頼性の高い位置決め
お客様のご要望に応じて、XYシステムにはステッピングモータまたはDCモータが搭載されています。DCモーターは、高速で低トルクのアプリケーションに最適です。一方、位置決めタスクが低電力、低速度を必要とする場合、ステッピングモータが適切なバリエーションとなります。精密サイクルの推奨荷重は10kg、最大荷重は30kgです。
応用分野
高速スキャンアプリケーションおよびダイナミックウェブ走行 例:半導体検査、測定システム、自動光学検査(AOI)、測定器、計測学、検査システム、工具測定
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